Rasterelektronenmikroskop mit Focused-Ion-Beam

Das Versa 3D Rasterelektronenmikroskop (REM) vereint hochauflösende Bildgebung mit präziser Analytik und gezielter Präparation. Als REM liefert es detailreiche Darstellungen feinster Oberflächenstrukturen. Ergänzend ermöglicht die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) die direkte Analyse chemischer Elementzusammensetzungen innerhalb des REM-Bildes.

Durch den Ionenstrahl der integrierten Focused-Ion-Beam-Technologie (FIB) können Proben im Mikro- und Nanometerbereich gezielt bearbeitet werden – etwa durch Abtragen, Durchtrennen oder Freilegen bestimmter Bereiche. So lassen sich Querschnitte erzeugen und verborgene Strukturen sichtbar machen.